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上海工研院8英寸研发中试线面向研究生 助力芯片制造产教融合
发布时间:2021.08.19

今年6月,上海工研院宣布将8寸线每年四分之一的总机时资助给上海大学,用于微电子学院教学实践,为期5年。上海大学微电子学院成立于2019年11月,由上海大学和上海微技术工业研究院共同发起,与中国科学院上海分院、嘉定区政府、集成电路创新型企业共建,面向集成电路产业。“在市委市政府的支持下,我们正在全力打造准工业化、国际化的一流微电子学院。”上海大学微电子学院执行院长张建华教授说,“学院工作有三个抓手:一是与产业界合作,实现产教融合;二是与中科院合作,实现科教融合;三是与国际一流的研究机构合作。” 

作为学院发起和共建单位,上海工研院是一个连接科技界与产业界的平台,由中科院上海微系统与信息技术研究所创办,致力于“超越摩尔”技术和物联网应用的创新和产业化。所谓“超越摩尔”,是指以成熟半导体技术为基础的非数字、多元化技术,其性能不遵循“摩尔定律”的工艺升级路线,覆盖MEMS传感器、光电子、高性能模拟及射频芯片等广阔的应用领域。2017年9月,上海工研院的“超越摩尔”8英寸研发中试线投入运营,成为国内首条、国际领先的微机电系统(MEMS)中试线。

“芯片制造是中国大陆集成电路产业的一块短板,我们学院要通过产教融合,培养一大批来之能战的制造工艺人才。”古元冬表示,工艺经验的巨大商业价值,决定了工艺专家积累的经验往往是不会通过论文广而告之的。这就要求高校在高端工艺人才的培养模式和考核标准上不能“唯论文”,而是要以产业需求为导向,落实国务院《关于完善科技成果评价机制的指导意见》,对新技术、新材料、新工艺、新产品等科技成果以用户评价、市场检验和第三方评价为主。